Μετρήσεις πάχους διαστάσεων νανοτεχνολογίας

Μπλάτσος, Κωνσταντίνος

Nanotechnology thickness measurements

Μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία

Author

Μπλάτσος, Κωνσταντίνος

Date

2023-06

Advisor

Ganetsos, Theodore

ΔΙΠΛΩΜΑΤΙΚΗ ΕΡΓΑΣΙΑ ΜΠΛΑΤΣΟΣ ΚΩΝΣΤΑΝΤΙΝΟΣ (5).pdf (2.173Mb)

Keywords

Nanotechnology ; Νανοτεχνολογία ; Υμένιο

Abstract

Οι μετρήσεις διάφορων φυσικών μεγεθών ήταν πάντοτε κάτι που απασχολούσε τον άνθρωπο από τα πρώτα ακόμη χρόνια για να κατασκευάσει τα πρώτα του εργαλεία. Η προσπάθεια να επιτύχει όσο δυνατόν καλύτερη ακρίβεια στις μετρήσεις του ήταν πάντα παρούσα. Στη σύγχρονη εποχή η ακρίβεια των μετρήσεων σε πολλούς τομείς ειδικά της βιομηχανίας είναι απαιτούμενη και παίζει μεγάλο ρόλο στην τελική επιτυχία. Όταν το αντικείμενο του οποίου θέλουμε να μετρήσουμε τις διαστάσεις είναι μικρό σε μέγεθος και ευαίσθητο πρέπει να βρούμε διάφορους τρόπους μέτρησης οι οποίοι θα μας δίνουν ακρίβεια δίχως να προκαλούν φθορές στο αντικείμενο που μετράμε. Η συγκεκριμένη διπλωματική εργασία ασχολείται με την μέτρηση πάχους διαστάσεων νανοτεχνολογίας. Οι μετρήσεις έγιναν σε λεπτά φιλμ (υμένια) με τεχνικές μη καταστροφικής μετρολογίας, πιο συγκεκριμένα με φασματοσκοπία αντανάκλασης λευκού φωτός. Παρουσιάζεται ο τρόπος λειτουργίας του μηχανήματος με το οποίο έγιναν οι μετρήσεις και εξετάζεται η ακρίβεια των αποτελεσμάτων των μετρήσεων. Η εργασία ολοκληρώνεται με την καταγραφή συμπερασμάτων και πλεονεκτημάτων που έχει αυτός ο τρόπος μέτρησης.

Abstract

Since the beginning of civilization, when humans started constructing their first tools, humanity has always been concerned with size measuring in nature. One basic goal has always been to be as accurate as possible. During modern times measurement accuracy in many industrial fields is required and matters considerably as far as the final outcome is concerned. When the object, whose dimensions we wish to measure, is small in size and made out of sensitive material we are forced to find different measurement methods which will ensure accuracy without damaging the object under consideration. The specific paper examines nanotechnology thickness dimension measurements. The measurements were conducted using thin films employing non damaging measuring techniques, and more specific white light reflectance spectroscopy. The operating functions of the machine employed in the measurements are presented along with the accuracy of the measurement results. The paper concludes by reporting the outcomes and the advantages of the specific measurement method.