Χαρακτηρισμός νανοδιατάξεων με χρήση FR-Monitor

Abstract

Το λογισμικό FR-Monitor αναπτύχθηκε από τη theta metrisis με σκοπό την υποστήριξη όλων των αρχείων της σειράς FR. Το FR-μProbe, απλά συνδέεται στον προσαρμογέα C-mount των περισσότερων εμπορικά διαθέσιμων οπτικών μικροσκοπίων (ανακλαστικότητα ή/και μετάδοση). Η Διπλωματική εργασία έχει στόχο το χαρακτηρισμό διαφόρων νανοδομών με χρήση της τεχνολογίας FR-Monitor. Επιπρόσθετα γίνεται παρουσίαση της εφαρμογής σε πολλαπλά λεπτά υμένια με ακριβείς χαρακτηρισμούς και άμεσα αποτελέσματα.